磁敏原理
霍尔效应 / Hall effect
载流薄片在垂直磁场下产生横向电压
是什么
通有电流的半导体薄片受到垂直于片面的磁场时,洛伦兹力使载流子横向偏移,在两侧形成与磁通密度成正比的霍尔电压。
平面霍尔盘响应的是垂直于芯片表面的分量,可用标准 CMOS 工艺与放大、补偿、ADC 和数字电路集成在同一颗芯片内,成本低、线性好,是开关、线性传感器与角度编码器的通用基础。
它的短板与对策
霍尔元件灵敏度较低,输出信号在微伏到毫伏量级,工艺失配带来的失调电压与 1/f 噪声相对信号不可忽略,灵敏度还随温度变化。
对策是片上信号处理:旋转电流(spinning current)与斩波消除失调、温度补偿修正灵敏度漂移、多个霍尔元件差分排布抑制外部均匀场。器件级精度更多取决于这些处理,而不只是霍尔元件本身。
与磁阻器件怎么选
霍尔器件按磁场幅值工作,量程宽、不饱和、可以测三个方向(配合垂直霍尔),适合线性测量、宽气隙与三维检测;磁阻器件(AMR、TMR)灵敏度高、在饱和区只跟随方向,适合高信噪比测角与低场检测。实际选择还要看成本、功耗、温度范围与系统精度预算。
要点提示
霍尔按磁场幅值工作,输出受温度与气隙影响较大,因此规格里普遍带有温度补偿以及失调抵消(如斩波、自旋电流)相关指标。
常见误区
每条标题是常听到的说法,下方是工程上的实际情况。
01
霍尔元件就是惠斯通电桥
电桥只是分析失调时用的等效模型。霍尔效应可以用旋转电流法消除失调,真正的电阻电桥做不到,这正是两者原理不同的标志。
02
霍尔一定不如磁阻准
系统精度由前端处理、校准、磁路与安装共同决定,不能只按敏感元件类型判断。
03
一个霍尔元件能感应任意方向的磁场
平面霍尔只感应垂直于芯片表面的分量,平面内分量需要垂直霍尔或磁通引导结构。
相关系列
正文涉及的原理与指标,在这些产品系列上用得到。
KTH13/16/17 系列
微功耗 1D 霍尔开关
CMOS 工艺集成霍尔元件,1 μA 超低功耗,温度补偿优良,覆盖全极、单极与锁存型
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车规级高压霍尔开关
斩波技术(内置零漂移放大器),失调电压小于 10 μV,宽压工作,反接保护电压高达 -32 V
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比例式线性霍尔传感器
按比例响应磁通密度,30 kHz 高速带宽、轨到轨模拟输出,多灵敏度可选
查看产品KTH564 系列
线性霍尔芯片
零磁场输出 1/2 VCC,输出随磁通密度线性变化,多档灵敏度匹配不同检测范围
查看产品KTH460 系列
微功耗 3D 霍尔开关
X、Y、Z 三维全极检测,SPIN 与数字滤波技术保证稳定的工作点与开关频率
查看产品KTH462 系列
超灵敏 2D 霍尔开关
检测二维磁场,两路独立数字输出,可直接给出速度与方向或每轴独立锁存信号
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三轴线性霍尔传感器
测量 X、Y、Z 三轴磁场,I2C / SPI 可选,工作模式在线配置,兼顾性能与功耗
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低延时霍尔绝对角度编码器
16 位分辨率,系统延时 1 μs 并做延时补偿,全系支持在轴与离轴应用
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自校准霍尔磁编码器
内置自动非线性校准(ANLC),无需复杂外部干预,在轴 INL 优于 ±0.1°
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三轴霍尔 / 3D Hall
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线性霍尔 / 比例式输出
输出电压随磁通密度线性变化,灵敏度档位同时决定量程
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AMR / 各向异性磁阻
电阻随磁化方向与电流夹角变化,工作在饱和区
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TMR / 隧道磁电阻
隧道结电阻随自由层与钉扎层的磁化夹角变化
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