磁敏原理
垂直霍尔 / Vertical Hall
敏感方向落在芯片平面内的霍尔结构
是什么
普通平面霍尔盘只感应垂直于芯片表面的 Z 分量。垂直霍尔改变结构，把电流通路做在硅片深度方向，使敏感方向落在芯片平面内，于是同一颗芯片上可以同时取得 X、Y、Z 三个方向的磁场分量。
为什么重要
角度测量可以只用平面内的两个分量做反正切：对径充磁磁铁在轴安装时，芯片平面内的磁场方向就是磁铁转角，信号直观。
离轴测量所需的切向与轴向分量，也能由同一颗芯片一次取得，布局更灵活。
怎么看它的精度
垂直霍尔的灵敏度通常低于平面霍尔，失调与 X、Y 两路之间的匹配更难控制，所以前端的失调消除、通道增益匹配与温度补偿是关键指标。两路灵敏度不一致会把圆形磁场轨迹读成椭圆，表现为一圈两次的角度误差。
要点提示
垂直霍尔结构的失调与通道匹配控制难度高于平面霍尔，实测精度取决于工艺匹配程度与失调抵消手段，不能只按结构类型判断优劣。
常见误区
每条标题是常听到的说法，下方是工程上的实际情况。
01
有垂直霍尔就一定能直接测高精度角度
精度取决于通道匹配、失调消除与校准，仅凭结构类型无法判断。
02
三个方向的灵敏度天然一致
平面内与垂直方向的敏感结构不同，灵敏度与温度特性都可能不同，使用多个分量时需要按手册做增益匹配。
03
垂直霍尔只能做在轴
它可以同时取得平面内与垂直方向分量，在轴、离轴都可以使用，具体取决于磁体布局。
相关系列
正文涉及的原理与指标，在这些产品系列上用得到。
KTH55 系列
垂直霍尔绝对角度传感器
垂直霍尔配合 16 位 ADC，0 ~ 360° 绝对角度输出，符合 AEC-Q100
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KTM53 系列
离轴 AMR 角度编码器
AMR 配合垂直霍尔与数字算法实现离轴测量，校准后 INL ±0.03°（典型值）
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AMR / 各向异性磁阻
电阻随磁化方向与电流夹角变化，工作在饱和区
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TMR / 隧道磁电阻
隧道结电阻随自由层与钉扎层的磁化夹角变化
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